能造EUV光刻機(jī)的歐洲:第一次有了自己的EUV生產(chǎn)線!
EUV極紫外光刻機(jī)雖然出自歐洲的荷蘭,但是歐洲一直沒有自己的EUV生產(chǎn)線,直到現(xiàn)在。
當(dāng)?shù)貢r(shí)間9月29日,位于愛爾蘭萊克斯利普(Lexilip)附近的Intel Fab 34晶圓廠,正式開始使用EVU光刻工藝大規(guī)模量產(chǎn)生產(chǎn)Intel 4工藝的Meteor Lake處理器,也就是酷睿Ultra。
Intel CEO帕特·基辛格、技術(shù)開發(fā)總經(jīng)理Ann Kelleher博士、首席全球運(yùn)營(yíng)官Keyvan Esfarjani將參加開工儀式。
這是美國(guó)本土俄勒岡州Fab D1之后,Intel第二座量產(chǎn)Intel 4 EUV工藝的晶圓廠,也是歐洲第一次有了自己的EUV生產(chǎn)線。
Intel使用了所謂的“Copy Exactly!”(精準(zhǔn)復(fù)制),將美國(guó)工廠的生產(chǎn)線百分百復(fù)刻到愛爾蘭工廠,以提高良率、保證性能一致性。
Intel 4工藝也就是曾經(jīng)的7nm,號(hào)稱相比Intel 7(10nm ESF)在同等功耗下頻率提升21.5%,同等頻率下功耗降低40%,晶體管密度增加1倍,這其中很大的功勞都來自EUV。